三維光電振動測量技術的校準方法研究
2017-1-18 來源：寧波舜宇智能科技有限公司 作者：錢向偉，王雷，張深逢，葉崗，宋云峰
摘要：為了分析三維光電振動測量儀測量的三維數據準確性，提出了一種利用標準小球做相對校準的簡便方法。組成三維光電振動測量儀的5臺激光測振儀發出的5束激光同時經過1個透鏡，聚焦在位于透鏡焦點處且安裝在振動源上的標準小球球面上，軟件處理小球振動時的三維分量，并與小球3個正交方向放置的3臺激光測振儀測得的數據對比。通過微調小球的擺放位置，測量小球不同振動方向的三維振動信息，最后對數據進行誤差分析，測量結果驗證了該校準方法的可行性和適用性。
關鍵詞：三維光電振動測量；正交法測量；標準小球；激光測振儀
0.引言
三維光電振動測量儀作為高端科學儀器，廣泛應用于衛星陀螺控制器的振動測量、航空發動機的葉片振動測量、火炮發射時炮管的振動測量、微機電系統振動測量等，屬于非接觸測量儀器。然而，長期以來我國的光電振動測量儀幾乎完全依賴進口，部分產品由于牽涉到國防和國家安全領域還無法進口，這一局面極大地限制了我國相關領域的發展。為此，研制具有自主知識產權的三維光電振動測量儀迫在眉睫。
由于三維測振技術發展得較晚，目前國內外對振動校準裝置的研究還局限于采用單分量激勵下的分軸向振動校準。然而，采用傳統的單分量振動校準裝置校準三分量測振儀具有一定的局限性，三分量測振儀的靈敏度是一個矩陣形式，若采用單分量振動校準裝置將無法得到這個輸入、輸出的耦合關系，而傳統的對多分量測振傳感器逐分量校準方法，存在校準時間長、工作效率低且結果可靠性差等不足。在傳統激光測量技術中，無論是單點測量還是整個面的掃描測量，都只給出了物體的結構振動特性，沒有給出物體整體的三維振動特性。最近幾年出現的三維激光測振儀，主要由3臺單點激光測振儀組成，能夠測量物體三維振動信息，該測量技術的缺陷是儀器沒有自校準功能[1之]。本文提出一種新型三維運動姿態測量方法，通過5臺單點激光測振儀實時測量物體三維振動信息和運動姿態，利用比較測量方法對系統進行相對校準，同時還能夠進行現場自校準，測量精度高[3。4]。
1.基本原理
1．1激光測振儀原理
激光多普勒測振儀是基于光學干涉原理。He-Ne激光器發出的偏振光(設頻率為Fo)由分光鏡分成兩路，一路作為測量光，一路作為參考光。測量光通過聲光調制器后具有一固定的頻移(F)，再聚焦到被測物體表面，物體振動引起頻移(廠)。由于多普勒頻移f=2v／A，即，與速度口成正比變化。傳感器獲得的干涉信號頻率為F+廠，攜帶了被測物體的振動信息，再經過頻率電壓轉化，頻率信號變為電壓信號U，由于該轉化為線性關系，即
1．2三維光電振動測量技術原理
振動系統包括了5組激光測振組件(5臺激光測振儀)，其結構及光路如圖1所示，它們共用一個聚焦系統，使得激光測振組件出射的激光匯聚到同一點[8]。5組激光測振組件采用正交對稱放置，構成十字分布。每個測量點均由5束激光同時測量，軟件處理并輸出X，y，Z 3個方向的振動結果。
圖l 三維激光測振儀原理圖
三維激光測振儀在測量物體三維信息時，5束激光通過聚焦透鏡匯聚在同一點，并測得沿各自光束方向的速度分別為V1,V2,V3,V4，V5，如圖2(a)所示，選用其中正交的3束激光來獲得三維振動信息呻0|，此處選用光束2，3，4，如圖2(b)所示，光束3可以直接測量物體沿Z方向的振動分量，即
圖2激光束位置不意圖
在實際裝配和組裝調試過程中，保證光束1和光束2關于光束3對稱，夾角為202，光束4和光束5關于光束3對稱，夾角為2口。，但角度日。和晚的實際值和理論值會存在一定的誤差，本系統通過同一水平分布的3束激光實現三維光電振動測量儀的自校準功能，如圖3所示。校準時，一般采用振動臺沿Z軸方向振動，實際校準過程中，振動臺由于擺放誤差，很多情況下也會有沿X軸方向的振動分量口：，通過光束3可以測得Z軸方向振動速度為
整個系統實現了角度的自校準過程，當5束激光聚焦在被測物體上，5個通道同步采集物體的振動信息，根據式(6)、式(10)、式(12)可計算出物體的三維振動坐標哦，碼和口。。
2.系統校準以及實驗過程
2．1系統校準
在激光測振過程中，當物體的振動方向沿著激光方向時，測量值為準確的振動值。為測量物體的三維分量，要盡量減少測量點3個方向的固有誤差，可在振動源上固定一個標準的小球，振動源為標準的振動傳感器校準儀，內部可產生不同頻率的正弦信號，可輸出顯示加速度、速度及位移3種振動信號的幅值[1卜121；三坐標測量機上用于校正振動儀器的標準小球直徑為20 mm，材料為鋼，表面覆蓋有一層0．1 1Tlln厚的均勻反射膜，另外選取3臺一致性良好，即測試同個物體振動信息相同或接近的激光測振儀，分別放置于正交系的X，y，z方向，用于物體3個方向振動信息數據測量，正交位置通過機械裝置實現，控制3個方向相互都成90。角，并且由于各個方向的激光測振儀利用散射原理測量，正交性的微小角度偏差對測量結果影響不大；然后打開振動源，讓小球在振動源作用下以不同頻率和不同幅值振動，比較不同條件下3臺激光測振儀與三維光電振動測量儀所測數據，從而判斷其測量數據的準確性，測量原理如圖4所示。三維光電振動測量儀的5束激光聚焦在球面上，光束3與接觸點的切面基本垂直，正交方向的3臺激光測振儀也聚焦在球面上，分別與接觸點切面垂直，小球在不同位置下的數據穩定后，比較三維光電振動測量儀采集到的三維分量％，q，鞏的數據與X，y，Z 3個方向的激光測振儀采集的數據，如圖5所示。
2．2實驗過程
首先將標準小球固定在振動源上，三維光電振動測量儀聚焦透鏡焦距為500 mm，調節振動臺的位置，使5束激光聚焦在小球的球面上，光束3方向為正交坐標系的Z方向，將另外3臺激光測振儀分別放置于小球所在坐標系的X、y、Z方向，工作距為500 mm，調節振動源上的頻率以及速度幅值，得到多組不同頻率，不同幅值下小球的振動信息；再固定振動源幅值和頻率不變，改變小球的振動方向，三維分量的幅值大小發生改變；重復上述操作，最后比較測量數據。標準振動源放置在機械工裝上，通過微調機械工裝，將振動源的振動方向平行于XOZ平面，并使振動方向與Z軸方向成0角度，然后移動工裝使物體振動方向繞X軸旋轉a角度，測量其三維振動信息，最后進行數據分析。
一定的前提下，頻率不影響速度分量值；再選取一定的頻率和幅值，改變2個角度值的大小，測試三維振動對任意方向的振動物體的適用性。
3.測量結果分析
3．1測量結果
首先調節振動源的擺放位置，為了方便計算和比較，使小球振動方向滿足角度口為45。，角度a為45。，然后調節振動源的頻率和幅值，在不同頻率、不同幅值下，三維光電振動儀和3個正交方向上的激光測振儀測量數據如表1所示；然后振動源選取固定的頻率和幅值，此處選擇頻率320 Hz，幅值10 mm／s，在不同角度下，小球不同振動方向的三維光電振動儀測量數據如表2所示。
表1同一振動方向(0=0=45。)。不同頻率。不同幅值測量數據
3．2數據和誤差分析
小球在同一振動方向下，即角度日為45。，角度a為45。，三維光電振動測量儀的三維分量合成值與3個正交方向激光測振儀測量數據的合成值分別與振動源的幅值做比較，誤差分析結果如表3所示。在振動源頻率320 Hz，幅值10 mm／s的條件下，根據小球不同振動方向的三維光電測量數據，由式(13)、式(14)、式(15)計算出小球實際角度值日和a，并分別與理論角度值進行比較，誤差分析結果如表4所示。可以看出，三維光電振動測量儀的3個分量與3個方向激光測振儀的測量數據基本吻合，合成值的誤差最大為2．87％，任意方向的角度誤差最大為1．35％。在實際測量過程中，3個方向激光測振儀在保證光斑基本處在小球的對應位置時，擺放位置引起的誤差很小，可忽略不計，而機械調節工裝會引入系統誤差，結構加工和透鏡成像質量也會影響測量結果，但總體而言，測量結果誤差滿足系統要求，符合相對測量的標準。
表3同一振動方向(0=a----45。)測量數據誤差分析
表4不同振動方向三維光電振動測量數據誤差分析
4.結論
在研究了三維光電振動測量儀原理的基礎上，選取振動源和單點激光測振儀作為比較對象，搭建了實驗平臺進行數據測量和誤差分析，驗證了三維光電振動測量儀對任意空間物體三維分量測量的相對準確性和適用性，但后續仍需標準的三軸計量平臺對測量數據進行絕對校準。
投稿箱：
如果您有機床行業、企業相關新聞稿件發表，或進行資訊合作，歡迎聯系本網編輯部， 郵箱：skjcsc@vip.sina.com
如果您有機床行業、企業相關新聞稿件發表，或進行資訊合作，歡迎聯系本網編輯部， 郵箱：skjcsc@vip.sina.com
更多相關信息
